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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8HSP
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8HSP
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8HSP
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實(shí)現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點(diǎn)是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個(gè)行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時(shí),其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。
長處
非常適合濺射工藝。
氬氣的排量約為傳統(tǒng)型號 (U8H) 的 2.5 倍。
氫氣的抽速約為傳統(tǒng)型號 (U8H) 的 1.2 倍。
再生間隔更長,有助于提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。
可進(jìn)行多次作(*多 3 臺)。
隔膜式干式真空泵
DTC-22
DTC-22A
DTC-22B
DTC-22C
DTC-41
DTC-41C
DTC-41D
DTC-41E
DTC-41F
DTC-22K
DTC-60
DTC-41K
DTC-41KC
DTC-41KD
DTC-41KE
DTC-41KF
DTC-120
DTC-120D
DTC-120E
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 1,700 |
氫 | 3,200 | ||
氬 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1,2×103(8.9) |
氫 | 2.4×10%2(1.8) | ||
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 2,5×108(1.9×106) |
氫 | 1.0×106(7.8×10)3) | ||
冷卻下降時(shí)間 (電源循環(huán)) |
*?。℉z) | 125/115(50/60) | |
進(jìn)氣法蘭 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
壓縮機(jī)組 | C10T、C10AT | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 33.2 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。