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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U12HSP
2025/07/04 13:42:21
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U12HSP
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U12HSP
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。
長處
氬氣的排量約為標準型號 (U12H) 的兩倍。
氫氣的排氣能力約為標準型號 (U12H) 的 1.5 倍。
再生間隔更長,有助于提高設(shè)備的運轉(zhuǎn)率。
小排氣量雙級旋片型
VD151
VD201
油回轉(zhuǎn)真空泵油霧收集器
OMT-050A
OMT-100A
OMT-200A
OMI-100
OMI-200
OMC-050
OMC-200
OFI-050C
OFI-200C
OFI-050V
OFI-200V
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 4,100 |
氫 | 6,000 | ||
氬 | 3,400 | ||
水 | 9,500 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.0×103(15.0) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 4.4×108(3.3×106) |
氫 | 1,6×10%6(1.2×104) | ||
冷卻下降時間 (電源循環(huán)) |
*小(Hz) | 90/80(50/60) | |
進氣法蘭 | UVG-300,10BANSI 系列 | ||
壓縮機組 | 產(chǎn)品 C30VRT | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 42 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。