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ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 GST-07L-B
ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 GST-07L-B
濺射離子泵使用電場(chǎng)和磁場(chǎng)使氣體分子電離。 電離分子被電場(chǎng)加速并與固體目標(biāo)表面碰撞。 這種碰撞導(dǎo)致分子嵌入表面并產(chǎn)生真空。 該工藝對(duì)于去除惰性和反應(yīng)性氣體特別有效。
濺射離子泵是精密實(shí)驗(yàn)和制造工藝的理想選擇，因?yàn)樗鼈兛梢詫?shí)現(xiàn) 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，因此使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環(huán)境。 此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優(yōu)點(diǎn)。
這是一款帶有 CPU 的多功能濺射離子泵控制器。
長(zhǎng)處
通過緊湊輕巧
的 CPU 實(shí)現(xiàn)多功能。
這個(gè)裝置可以控制所有濺射離子泵（型號(hào)：PST）。
通信設(shè)備為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備外部
通信控制功能為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，因此可以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和自動(dòng)化作。
兼容 XHV 的
自動(dòng)啟動(dòng)電路和軟啟動(dòng)功能可*限度地減少泵單元的污染。 （→ 號(hào) 1340297 正在申請(qǐng)中）
配備安全功能、防止作開關(guān)誤作
的功能以及用于各種保護(hù)的聯(lián)鎖功能。 采用具有優(yōu)異耐熱性和耐寒性和電氣性能的 Hyflon 含氟聚合物制成的高壓電纜。
符合限制使用某些有害物質(zhì)（RoHS 指令）。
兼容 CE 標(biāo)志。
用
粒子加速器
電子顯微鏡
分析儀器
| 組合泵 | 演員泵 （所有型號(hào)：PST） | |
| 工作壓力 | 10-2 到 10-4Pa 或更低 | |
| 顯示范圍 | 顯示方式 | 數(shù)字顯示（7 段 LED 顯示） |
| 顯示什么？ | ||
| a） 輸出電流指示 | 馬。 自動(dòng)切換 2 個(gè) μA 范圍（線性顯示） | |
| b） 輸出電壓指示 | DC0.0~7.5kV （H 或 L） （1 檔線性顯示） | |
| c） 壓力顯示 |
Pa， mbr （1×10-8~1×10-2Pa）（ 1×10-10~1×10-4mbar 的 |
|
| 輸出開路電壓 |
DC+7.5kV （H.L的兩點(diǎn)設(shè)定可通過面板開關(guān)切換，H.L的設(shè)定電壓約為1.0~7.5kV，音量可變） |
|
| 輸出電流 | DC31 mA 或更低 | |
| 輸入電壓和電流 |
AC100~115V±10% ? 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% ? 50/60Hz~1.5A |
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| MONITOR 引腳輸出信號(hào) |
面板 7：輸出信號(hào)與段顯示成正比，各 量程 DC0~10V F.S. 100kΩ 以上 |
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| 壓力設(shè)定值 | 2 積分 | |
| 遠(yuǎn)程/本地 | 通過前面板開關(guān)切換 | |
|
具有各種輸入功能（帶 REMOTE 連接器）（ 遙控、安裝 RS232C 通信控制） |
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| 保護(hù)特性 |
具有各種保護(hù)功能的錯(cuò)誤指示/顯示 高壓 （HV） 輸出關(guān)閉 （ERR 0~8） 啟動(dòng)保護(hù)定時(shí)器 設(shè)置 （1~255 分鐘可變） 停電后自動(dòng) 恢復(fù)（ HV-HOLD 開關(guān)作） |
|
| 使用環(huán)境 | 溫度范圍 | 0~40°C |
| 濕度范圍 | 85% 或更低（無冷凝） | |
| 附屬品 | 輸入電纜 3m | |
| 質(zhì)量 | 本體：約 4 公斤 | |
| 尺寸 寬 x 高 x 深 | W240×H99×D370mm（不含機(jī)架安裝支架） | |
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